一、维修步骤
（一）外观检测
全面检查 ISP‑90 整机机身，查看外壳、泵头、底座有无磕碰、变形、划伤；
清理进气口、出气口及周边灰尘、杂物，排除外部结构与堵塞类隐患。
（二）开机加电检测
设备通电试运行，检测真空度、温度、噪音、振动等运行参数；
根据声音位置与振动特征，确认异响来自泵头内部
FS1 轴承区域，锁定故障点。
（三）针对性故障维修
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安全操作
断电、上锁、关闭阀门、泄压、断开管路，确保维修安全。
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拆解泵头
依次拆下护罩、端盖、涡旋盘组件、轴承压盖，露出 FS1 盘轴承。
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故障确认
拆下 FS1 轴承，检查：
磨损、点蚀、卡滞、间隙大、保持架损坏 → 确认为异响主因。
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更换与装配
清洁轴颈、轴承座腔体；
更换全新原厂 FS1 轴承，加注指定润滑脂，按标准压装到位；
同步检查密封件、O 型圈、涡旋盘状态，必要时一并更换。
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回装整机
按拆解逆序回装所有部件，对角均匀锁紧螺栓，保证同心度与密封良好。
（四）整机满载测试
维修完成后进行点动、空载、负载测试；
复测真空、温度、噪音、振动，确认异响消除、运行平稳；
连续运行
12–48 小时，验证长期稳定性。
（五）编制维修报告
出具正式报告，包含：
故障现象、检测数据、
FS1 盘轴承损坏原因、维修内容、更换配件、测试结果、运行结论。
（六）售后后期跟踪
建立设备维修档案，定期回访使用情况，提供保养与技术支持。
二、示意图
