一、维修步骤
（一）外观检测
全面检查 ISP-90 涡旋干泵整机机身，排查外壳磕碰、结构变形、壳体划痕、管路破损等硬性机械损伤；
彻底清理设备进气口、出风口、散热区域及泵体外围结构，清除粉尘、杂物、絮状物堵塞物；
检查外围固定螺栓、护罩、密封结构完好性，排查外观及安装结构类基础隐患，做好外观问题记录。
（二）开机加电检测
设备断电做好安全检查后，通电空载试运行；
全面检测设备真空负压性能、泵体运行温度、整机运行噪音、机身振动幅度、电机运转状态等核心参数；
详细记录设备初始运行数据，精准捕捉
异常异响位置、异响频率、震动关联区域，锁定故障来源为 FS1 轴承运转异常，为针对性拆解维修提供精准依据。
（三）针对性故障维修
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设备断电锁机，关闭进出气阀门，泄压断管，做好安全隔离；
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依次拆解泵体外壳、护罩、端盖、轴承压盖等结构，拆解过程做好点位标记与部件摆放；
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拆解检查传动腔体，拆解取出FS1 故障轴承，检查轴承滚道、滚动体、保持架磨损、点蚀、松旷、缺油卡滞问题，确认轴承老化磨损为异响根本原因；
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清洁轴位、轴承座腔体，去除旧油脂、铁屑、杂质，修复配合面轻微磨损；
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更换全新原厂适配 FS1 轴承，按标准工艺精准装配、加注专用耐高温润滑脂，调整轴承间隙、轴向窜动量；
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同步检查密封件、O 型圈、涡旋盘辅助配件状态，老化破损件一并更换；
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按拆解逆顺序回装所有部件，对角均匀锁紧固定螺栓，恢复整机结构与管路连接。
（四）整机满载测试
维修装配完成后，对照岩田 ISP-90 原厂技术参数标准，开展全项性能复测；
逐项检测真空度、运行温度、运行噪音、机身振动、运转平稳度等指标，完整记录测试数据；
先点动试车无卡滞、无异响后，进行长时间连续运行测试，包含空载 + 额定负载工况，连续稳定运行 12–48 小时；
全程跟踪设备运行状态，确认 FS1 轴承异响完全消除、温升正常、无异常震动，验证维修整改效果，确保设备长期稳定可靠运行。
（五）编制维修报告
整理本次维修全套资料，出具正式设备维修报告；
报告内容包含：设备基础信息、故障现象描述、前期排查流程、
FS1 轴承损坏故障成因分析、维修整改实施方案、更换配件明细（FS1 轴承等）、维修前后对比数据、整机全项测试参数、设备最终运行状态说明。
（六）售后后期跟踪
单独建立该台 ISP-90 干泵专属售后设备档案，登记维修时间、更换部件、运行参数；
定期进行客户回访，跟进设备现场使用工况、负荷条件、长期运行状态；
及时解答设备日常操作、保养、维护相关技术问题，提供长效技术支持，保障设备稳定投产使用。
二、示意图说明
