用于获得超高真空 (UHV) 和
极高真空 (XHV) 的离子泵和控制单元
安捷伦真空(原瓦里安)提供全套 VacIon 离子泵产品系列,具有多种抽速供选择 (0.4–1000 L/s)。安捷伦还提供离子泵与钛升华泵 (Ion CombiTSP) 和非蒸散型吸气剂 (Ion CombiNEG) 泵的智能组合,可提供洁净、无振动的真空环境。
安捷伦离子泵和控制器具有多种可定制配置,以满足您多样化的真空需求。非常适合必须保证稳定的超高或极高真空 (UHV 或 XHV) 条件的应用,例如实验室、大型研究机构、医疗设备、扫描电子显微镜和表面分析设备。