VAT全金属可变泄露阀

适用于最小气流的高精度计量

59.0 超高真空全金属可变泄漏阀可以精确控制极小的气流（1 × 10-10 mbar ls-1 至 500 mbar ls-1）。该系列阀门采用全金属设计，是满足超高真空和极端超高真空工艺中气体计量要求的理想选择。

59.0 系列的特殊控制功能确保可重复的精确气流设置，增强了过程控制能力。其还能在整个使用寿命内提供可靠的密封关闭，不会出现任何密封疲劳风险。

此外，59.0 系列采用全金属设计（高级不锈钢阀体和镀金不锈钢薄膜闸封），因此具有出色的抗腐蚀性和抗腐蚀性气体特性。

59.0 系列已经安装在数百个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其卓越的可靠性。其已成为超高真空和极高真空应用中可变泄漏阀的标准解决方案